株式会社平井システム事業部では、多彩に展開する将来に向け半導体・光ファイバー製造装置をはじめ、あらゆる分野の研究、開発及び設計を手がけます。 特に、技術研究所は、計量法トレーサビリティ制度に基づく認定事業者「流量（気体小流量）」となりました。
　創造性に優れた思考と巧みな技術によって、未来に向けて貢献していきたいと思います。

　当社のシステム事業部は、半導体関連装置（前工程）のCVDシステムを中心としたガス制御系（精密ガス流量制御機器）、 電気制御系、真空制御系、及び研究開発用装置の開発、設計、製造、改造、メンテナンスまで一貫した対応をしています。 その中でも特に液体の気化、固体の昇華コントロールを初めとする特殊ガスの精密制御には多くの優秀な実績を持っています。 継手ひとつから大型量産装置まで、どの製品にもきめ細かい対応をしております。 生産設備の合理化や自動化は、品質の向上、ローコスト化、安全性が求められていると考えています。 あらゆる分野での活動が目まぐるしい各種自動機(ロボット)の開発もそのひとつです。 当システム事業部では、自動機から品質管理用ソフト、治工具、及び各種計測器の安定した品質の提供に最新のテクノロジーを駆使して取り組んでおります。 従って、再現性の確かな良質の環境をつくり出す事が可能となります。

＜システム事業部の事業内容＞
●半導体関連装置の設計製作
　半導体製造装置、CVD研究開発装置、ガス精密制御装置
　光ファイバー・発光ダイオード・合成石英製造装置
　ファインセラミックス製造装置
　各種機械制御・電気制御装置、ソフトウェア開発
　各種金属加工
●気体流量校正・校正装置製作
　JCSS認定業者、気体流量計量器の校正業務
　気体流量校正装置製作

　音速ノズルを用いた気体の流量測定技術や、流量制御技術の研究を行っております。 気体用流量計の校正における国際MRA対応JCSS校正事業者（ISO/IEC17025適合）の認定を受け、国家計量標準とトレーサビリティの取れた標準器で「確かな不確かさ」を保証した校正業務を実施しています。 また顧客が所有する気体流量計の、トレーサビリティの取れた校正を行うのに適した、音速ノズル式気体流量校正器「MRシリーズ」を製造・販売（MRA対応JCSS校正証明書付き）しています。
　認定事業・校正機器・音速ノズルなど詳細につきましては、本ページの右上「システム事業部」ボタン、あるいは本ページ最後のリンクボタンに、「リンク先」を示してありますので、ご覧下さい。