| 校正機器 |  |
当社技術研究所は国際MRA対応 |
| 音速ノズル式気体流量校正器 MRシリーズ |
MRシリーズは、気体用流量計の校正用に開発された、高精度な音速ノズル式質量流量計です。
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 お問い合わせ |
「MRシリーズ」のセンサユニット（MRS）は、被試験流量計の条件に対応して、
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| MRS 「LOW PRESSURE」 |
| ■MRS 「LOW PRESSURE」 仕様 （対象ガスが窒素ガスの場合） |
| Model | MRS101 | MRS102 | MRS103 | MRS104 |
| 最大入力圧力 | 350kPa（絶対圧） | |||
| 周囲温度 | 23±5℃ | |||
| 不確かさ | 0.3％程度（読み値） | |||
| 再現性 | 0.1％以下（読み値） | |||
| 運転条件 | Pu −−−→ MRS −−−→ Pd Pu:20〜200kPa, Pd/Pu≦0.3 |
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| 継ぎ手 | 1/4"VCR オス | 1/2" VCR オス |
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| 供給電源 | AC85〜264V， 47〜440Hz | |||
| ■MRS 「LOW PRESSURE」 標準バリエーション （窒素ガス用） |
| Model | フルスケール （0℃,1atm換算） |
測定流量範囲※ （0℃,1atm換算） |
MRS一次側の運転圧力 |
| MRS101 | 100mL/min | 10mL/min 〜 100mL/min | 約 20 〜 200kPa-abs. |
| 200mL/min | 20mL/min 〜 200mL/min | ||
| MRS102 | 500mL/min | 50mL/min 〜 500mL/min | |
| 1L/min | 0.1L/min 〜 1L/min | ||
| 2L/min | 0.2L/min 〜 2L/min | ||
| MRS103 | 5L/min | 0.5L/min 〜 5L/min | |
| 10L/min | 1L/min 〜 10L/min | ||
| 20L/min | 2L/min 〜 20L/min | ||
| MRS104 | 50L/min | 5L/min 〜 50L/min | |
| 100L/min | 10L/min 〜 100L/min |
※ |
測定流量範囲は、MRSの二次側が真空ポンプなどを用いて十分減圧している場合です。
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バリエーションは、以下の変更も可能です。
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| 1．ガス種：乾燥空気、ヘリウム、水素、メタンなど |
| 2．フルスケール：上表に当てはまらない流量範囲（下限はF.S.の約10％です） |
| 3．流量単位：「L/h」、「m3/h」など |
| 4．流量換算：「20℃,1atm」換算など |
| MRS 「HIGH PRESSURE」 |
| ■MRS 「HIGH PRESSURE」 仕様 （対象ガスが窒素ガスの場合） |
| Model | MRS102 | MRS103 | MRS104 |
| 最大入力圧力 | 700kPa（絶対圧） | ||
| 周囲温度 | 23±5℃ | ||
| 不確かさ | 0.3％程度（読み値） | ||
| 再現性 | 0.1％以下（読み値） | ||
| 運転条件 | Pu −−−→ MRS −−−→ Pd Pu:300〜700kPa, Pd/Pu≦0.3 |
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| 継ぎ手 | 1/4"VCR オス | 1/2" VCR オス |
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| 供給電源 | AC85〜264V， 47〜440Hz | ||
| ■MRS 「HIGH PRESSURE」 標準バリエーション （窒素ガス用） |
| Model | フルスケール （0℃,1atm換算） |
測定流量範囲※ （0℃,1atm換算） |
MRS一次側の運転圧力 |
| MRS102 | 1SLM | 0.5SLM 〜 1SLM | 約 300 〜 700kPa-abs. |
| 2SLM | 1SLM 〜 2SLM | ||
| MRS103 | 5SLM | 2.5SLM 〜 5SLM | |
| 10SLM | 5SLM 〜 10SLM | ||
| 20SLM | 10SLM 〜 20SLM | ||
| MRS104 | 50SLM | 25SLM 〜 50SLM | |
| 100SLM | 50SLM 〜 100SLM |
※ |
測定流量範囲は、MRSの二次側が大気圧近傍の場合です。
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バリエーションは、以下の変更も可能です。
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| 1．ガス種：乾燥空気、ヘリウム、水素、メタンなど |
| 2．フルスケール：上表に当てはまらない流量範囲（下限はF.S.の約50％です） |
| 3．流量単位：「L/h」、「m3/h」など |
| 4．流量換算：「20℃,1atm」換算など |
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| システム事業部 | ||||||||
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